隨著市場環境的優化升級和國家政策的有利驅動，新能源汽車、智能駕駛、智能終端和5G等行業對集成電路的需求激增。而作為典型的高精尖產業，集成電路的制造對生產環境和工藝的要求極為苛刻。其中，潔凈室的建設是集成電路制造中的關鍵環節，對最終產品的性能具有至關重要的影響。

　　作為我國早專業從事潔凈室機電設備安裝的工程公司之一，中國電子系統工程第四建設有限公司（以下簡稱“中電四公司”）可為集成電路制造企業提供設計、采購、項目管理、施工、設施管理、潔凈室配套產品制造等一體化“交鑰匙”工程服務。

　　2021年，在為北京集電控股有限公司（以下簡稱“北京集電”）建設集成電路車間潔凈室項目中，中電四公司為滿足客戶對環境監測的高精度和高穩定性要求，選擇與維薩拉合作，將工業用溫濕度變送器HMT330、本質安全型溫濕度變送器HMT370EX和溫濕度變送器HMT120等系列產品，成功應用于北京集電廠房潔凈室。自應用以來，相關儀表和變送器運行穩定，測量準確。

　　纖毫必顯打造高標準的潔凈車間：

　　穿戴嚴密封閉的特制護服和鞋套，經過嚴格的車間消殺流程，再通過數道相互獨立隔離的車間閘門，操作員方能進入標準嚴苛的集成電路廠房潔凈室。不同于一般工業品，集成電路從單晶硅片制造到IC制造再到IC封裝的重要步驟，均需在潔凈室中完成。無論是微小的粉塵和碎屑，還是無形的環境溫度和濕度等，都將對制造過程產生重大影響。

　　“集成電路的制造對生產環境的要求非常高，需要對溫度、濕度等參數進行極為精確、穩定的測量，從而確保生產環境的穩定可靠。”中電四公司市場管理中心總經理張琪表示，“2020年，早在北京集電潔凈室項目的投標階段，我們知道維薩拉的相關產品可滿足客戶對溫濕度測量的苛刻需求。于是，我們決定采用維薩拉產品作為測量儀表進行投標，由此也開啟了與維薩拉一系列的深度合作。”

　　隨著我國集成電路制造工藝的升級，其制造過程需要的潔凈程度也水漲船高，這對于潔凈室的建設提出了越來越高的要求。據介紹，北京集電所制造的集成電路工藝目前已突破28納米，對應的潔凈室環境溫度誤差為±0.3°C，濕度誤差為±3%。一旦溫度和濕度突破限定誤差，將顯著影響產品的良品率、使用性能和可靠性。

　　針對上述應用環境，維薩拉的多款產品如HMT330、HMT120和HMT370EX在其中扮演重要角色。其中，HMT330可在惡劣環境中和苛刻需求下實現精準測量，還可針對不同的應用環境實現定制，從而滿足多樣的客戶需求。而HMT120則是一款專為潔凈室等環境打造的溫濕度變送器，智能測量探頭可現場更換，輕松實現測量的可追溯性。